首先把離子平衡測(cè)量板瞬間接地，以消除板上的靜電荷。然后，按下灰色的歸零（ZERO）按掣，這時(shí)，會(huì)有兩下“Beep”聲響起，顯示板上的“HI”字會(huì)閃動(dòng)，表示儀器在離子平衡測(cè)量模式。

把儀器向著沒有離子產(chǎn)生和靜電場(chǎng)的方向，或者指向天空，顯示結(jié)果應(yīng)為0V。若果不是，請(qǐng)按下灰色的返零（ZERO）按掣，把背景結(jié)果歸零。

然后，根據(jù)ESDStandard STM3.1-2000的標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)不同的離子產(chǎn)生器，確定測(cè)試距離。把儀器固定在測(cè)距位置，測(cè)量離子產(chǎn)生器的離子平衡，按下綠色的凍結(jié)顯示（HOLD）按掣，把結(jié)果保持，然后取出作記錄。（注意：若數(shù)值超出可測(cè)范圍>200V ），則會(huì)響起連續(xù)的“Beep”聲，顯示數(shù)值會(huì)閃動(dòng)，這時(shí)，應(yīng)停止測(cè)量，否則會(huì)損壞內(nèi)置的感應(yīng)器。）

顯示數(shù)值以（+）或（-）指測(cè)量對(duì)象的離子平衡的極性偏向。在圖形顯示中，紅色表示正偏向，藍(lán)色表示負(fù)偏向。每一單位為10V。

再次按下紅色的電源（POWER）按掣，會(huì)關(guān)掉儀器?；蛘撸诖蜷_儀器5分鐘后，它會(huì)響起5下“Beep”聲，然后自動(dòng)關(guān)掉。（注意：若儀器在保持顯示狀態(tài)，則關(guān)掉儀器不會(huì)解除保持顯示。請(qǐng)按下綠色的保持顯示（HOLD）按掣解除保持顯示。）

若要確保離子平衡測(cè)量的可靠性，請(qǐng)定期測(cè)試離子平衡測(cè)量板的絕緣性能?？稍跍y(cè)量板上加上1000V靜電荷（可使用感應(yīng)帶電方法），然后觀察顯示數(shù)值的下跌速度。絕緣性能變差，則顯示數(shù)值的下跌速度會(huì)增快。離子平衡測(cè)量板的絕緣性能應(yīng)在1013Ω以上。